Tämä on eräänlainen tislaus korkeassa tyhjiöympäristössä, materiaalin molekyyliliikkeen vapaan reitin eron vuoksi, suoritettiin lämpöherkän materiaalin tai korkean kiehumispisteen materiaalin tislaus- ja puhdistusprosessissa. Lyhyen polun tislausta käytetään pääasiassa kemian-, lääke-, petrokemian, mauste-, muovi-, öljy- ja muut kentät.